半導体製造装置に関わる部品にフッ素コーティング施工を行うことで、ほとんどのプロセスガス及び薬品に耐えることが可能となり、使用用途が広がります。
また、反応生成物などが容易に除去できます。
これらにより、安全性・歩止りが向上し、メンテナンス時間が短縮できるといったメリットがあります。
ベローズ・フレキ | |||
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石英ガラス製スノコ | |||
チャンバー | |||
吸着パッド・真空チャック | |||
真空ポンプ用部品 | |||
ガスイントレット・ガス配管・ガスバルブ | |||
クランプリング | |||
配管 | |||
バルブ部品 | |||
メッキ治具 | |||
リング | |||
その他半導体部品 | |||
液晶製造装置に関わる部品にフッ素コーティングすることで、その部品に汚れがつきにくくなり、メンテナンス性が向上します。
回転カバー | |||
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タンク | |||
検査テーブル(剥離帯電防止用) | |||
食品製造装置に関わる部品にフッ素コーティングすることで、部品への付着が少なくなり、メンテナンスが用意となります。
また、付着が少なくなることで食品の搬送がスムーズになり、装置の連続稼動を可能にします。
食品製造装置部品 | |||
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蒸米機 | |||
タンクなどの内面にコーティングすることで耐食性が向上し、さまざまな薬品を扱えるようになります。
タンク | |||
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攪拌羽根 | |||
ドラムロール・ロール | |||
その他、いろいろなものへコーティングが出来ます。
目的も多彩で、耐薬性・外観・すべり性などがあります。
ホイール | |||
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スプリング | |||
エキゾースト | |||
その他 | |||
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