半導体製造装置関連
半導体製造装置に関わる部品にフッ素コーティング施工を行うことで、ほとんどのプロセスガス及び薬品に耐えることが可能となり、使用用途が広がります。
また、反応生成物などが容易に除去できます。
これらにより、安全性・歩止りが向上し、メンテナンス時間が短縮できるといったメリットがあります。
ベローズ・フレキ |
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石英ガラス製スノコ |
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チャンバー |
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吸着パッド・真空チャック |
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真空ポンプ用部品 |
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ガスイントレット・ガス配管・ガスバルブ |
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クランプリング |
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配管 |
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バルブ部品 |
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メッキ治具 |
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リング |
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その他半導体部品 |
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液晶製造装置関連
液晶製造装置に関わる部品にフッ素コーティングすることで、その部品に汚れがつきにくくなり、メンテナンス性が向上します。
回転カバー |
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タンク |
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検査テーブル(剥離帯電防止用) |
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食品製造装置関連
食品製造装置に関わる部品にフッ素コーティングすることで、部品への付着が少なくなり、メンテナンスが用意となります。
また、付着が少なくなることで食品の搬送がスムーズになり、装置の連続稼動を可能にします。
化学
タンクなどの内面にコーティングすることで耐食性が向上し、さまざまな薬品を扱えるようになります。
その他
その他、いろいろなものへコーティングが出来ます。
目的も多彩で、耐薬性・外観・すべり性などがあります。
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